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我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標準

作者:北京中天恒遠 發(fā)布于:2014-10-10 08:45瀏覽量:

水處理設備

我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標準

化學指標單位:μg/L

序號

水質(zhì)項目

一級高純水指標

二級高純水指標

1

電阻率(25℃)MΩ·cm

≥15

≥10

2

電導率,μs/cm

0.05

0.1

3

PH

6.87.2

6.67.4

4

細菌總數(shù),個/mL

3

9

5

微粒(直徑>0.5μm,粒/mL

150

300

6

二氧化硅

10

20

7

有機物(以COD計)

0.3

0.5

8

 Na

0.5

2

9

 Fe

1

2

10

 Cu

0.5

1

11

 Ca

1

3

12

 Mg

0.2

1

13

 Zn

0.5

1

14

 Mn

0.2

0.5

說明:①一級高純水適用于大規(guī)模集成電路,微波器件以及有相同要求到半導體器件產(chǎn)品。
  、诙壐呒兯m用于一般電路,分立器件以及有相同要求的半導體器件產(chǎn)品。
   ③本表按1980年電子工業(yè)部標準摘錄。

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